Описание

Технические характеристики

Размеры: 1300 x 900 x 900 мм

Материал камеры: нержавеющая сталь

Перемещение по X-Y: 600 x 400 мм

Вакуум: 1,3 x 10-4 мбар за 20 мин

ЭЛ оборудование: 60 кВ, 15 Вт

Ориентация: внешняя, вертикальная

Оснастка: многопозиционные паллеты

Особенность: динамическое ЗУ

В автоматизированном ЗУ заложено большое число разнообразных индивидуальных установок, обеспечивающих быстрый доступ и смену инструментов.